半导体制造常用软件工具总结
- CIM：Computer Integrated Manufacturing 设备自动化，总称
- MES：Manufacturing Execution System 制造执行系统
- EAP：Equipment Automation Programming 设备自动化，是MES与设备的桥梁
- APC：AdvancedProcessControl 先进过程控制技术
- FDC：Fault detect control 故障检测控制
- RMS：Recipe Management System 配方管理系统
- SPC：Statistical Process Control 质量管理与控制，利用统计方法进行控制
- YMS：Yield Management System 良率管理系统
- AMHS：Automatic Material Handling System搭配RTD和MCS使用以实现高程度的自动化
- RTD：Real-time Dispatch 实时派工系统
- MCS：Material Control System 物料控制系统，控制天车
- APS：Advanced Planning and Scheduling，高级计划与排程
- PMS：Preventive Maintenance System 预防保养系统
其他参考